Ionisatoren

µWire AeroBar®

µWire AeroBar®
µWire AeroBar®

Der digitale Aerobar Standalone-Ionisationsstab Modell 5225S wurde speziell entwickelt, um hohe Leistung bei einfa­cher Integration und Bedienung zu bieten. Eine Auswahl an Ionisierungsmodi, Ausgangsspannung und Zeitsteuerung bietet Vielseitigkeit, um die Anforderungen an die Neutralisierung stati­scher Ladungen zu erfüllen.

  • Alle Parameter werden in der Aerobar gespeichert
  • Vollständig einstellbare Parameter in den Modi Pulsed DC oder
    Steady-state DC
  • Ionenstromüberwachung
  • Ionisierung kann auf die individuelle Anforderung an die statische Aufladung abgestimmt werden
  • Gleichmässige Ionenproduktion
  • Alarmfunktion für gesicherte Leistung
  • Ultrareines Ermitterpunktmaterial ohne Risiko einer Verunreinigung der Wafer durch Dotierstoffe oder Metalle
  • Ozonerzeugung <0,005 ppm
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Ausführung
53 x 31 x 569 mm

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